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CF910-D 晶圆双面检设备
规格可检测 Defect

√ 支持6寸/8寸/12寸Wafer/Frame/扩晶环

√ 显微成像光路(2X/5X/10X)

√ 最高像素分辨率:0.34um

√ 高速高精度自动对焦模块

√ PIC/PD/LENS专用AOI

√ 破损/划伤/脏污/异物/裂纹/氧化/变形/光口不良/波导不良等