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CF910-S COS高分辨率检测设备
规格可检测 Defect

√ Load/Unload:6寸扩晶环/Gelpak盒

√ 正面显微成像光路(5X/10X)

√ 侧面远心镜头光路(4X)

√ 最高像素分辨率:0.34um

√ 高速高精度自动对焦模块

√ LD正面/侧面不良,SM区不良,金线焊接不良等